Exentec hat sich auf ultrahochreine chemische Versorgungssysteme für die Halbleiterindustrie spezialisiert. Unser Produktportfolio umfasst Misch- und Förderanlagen für zahlreiche Anwendungen im Bereich wässriger Chemikalien und CMP-Slurries. Zusätzlich zu unserer umfassenden Erfahrung in der Entwicklung und Herstellung bieten wir auch die erforderlichen Vor-Ort-Supportdienste, Kontrollen, Integration und technisches Fachwissen, um die strengen Anforderungen der Halbleiterprozesssteuerung zu erfüllen.
Unsere integrierten, zuverlässigen Chemiesysteme für die Massenproduktion (HMV) bieten eine präzise Durchfluss-, Misch- und Verteiltechnik sowie eine fortschrittliche, messtechnisch gesteuerte Kontrolle. Mit vollautomatischer Qualitätskontrolle und integrierter Messtechnik mit umfassender Instrumentierung und Kontrollmöglichkeiten maximieren wir die Zuverlässigkeit und Genauigkeit der Anlagen und die Betriebszeit der Fabriken. Wir integrieren unsere Systeme in SCADA- und FMS-Systeme, um vollständig kontrollierte Prozesse durchzuführen.
Unsere Spezialitäten sind:
- Messtechnisch gesteuerte Prozesssteuerung im geschlossenen Regelkreis
- Flexible, skalierbare und präzise Gas- und Chemikalienzufuhr- und Mischungssysteme
- Erhöhte Prozesskontrolle über Mischungskonzentration und Druckkontrolle
- Nahtlose Integration in SCADA mit vollständiger I&C-Unterstützung
Reinraum
Überlegene Lösungen und umfassende Dienstleistungen
Wir entwickeln, produzieren und warten zuverlässige Reinraumprodukte und Produktionsumgebungen für ultrareine kontrollierte Atmosphären.
