Exentec 专注于半导体行业的超高纯度化学品供应系统。我们的产品组合包括适用于水性化学品和 CMP 浆料等多种应用的混合和输送设备。除了在设计和制造方面的深厚专业知识外，我们还提供所需的现场支持服务、控制、集成和专业技术知识，以满足严格的半导体工艺控制需求。
我们的集成式大批量制造 (HMV) 可靠化学品系统可提供精确的流量、混合、分配和先进的计量驱动控制。凭借全自动质量控制和集成计量操作以及广泛的仪器和控制能力，我们最大限度地提高了设备的可靠性和精确度，并最大限度地延长了生产运行时间。我们将系统集成到 SCADA 和 FMS 系统中，以运行完全受控的流程。
我们的专长包括
- 计量驱动的闭环过程控制
- 灵活、可扩展且精确的气体和化学品输送与混合系统
- 通过混合浓度和压力控制加强过程控制
- 与 SCADA 无缝集成，提供全面的 I&C 支持
