Exentec 專精於半導體產業的超高純度化學品供應系統。我們的產品組合包括適用於水性化學品和 CMP 漿料中多種應用的混合和輸送設備。除了在設計和製造方面的深厚專業知識外，我們也提供所需的現場支援服務、控制、整合和技術專業知識，以滿足嚴格的半導體製程控制需求。
我們的整合式高產量製造 (HMV) 可靠化學系統能提供精密的流量、混合、分配及先進的計量驅動控制。透過全自動 QC 和整合計量操作，以及廣泛的儀器和控制能力，我們最大限度地提高了裝置的可靠性和精確度，並最大限度地縮短了開機時間。我們將系統整合至 SCADA 和 FMS 系統，以執行完全受控的製程。
我們的專長包括
- 計量驅動的閉環製程控制
- 靈活、可擴展且精確的氣體與化學品輸送與混合系統
- 透過混合濃度和壓力控制增加製程控制
- 與 SCADA 無縫整合，並提供完整的 I&C 支援
